型号：VGT-15204S
产品特点：
1、加热温度自动可调；
2、设有安全保险装置；
3、他激式线路板结构；
4、超声输出频率可根据不同工作情况进行微调；
5、超声扫频线路；超声波发生器具有扫频功能
●真空脱气：有效去除液体中气体，且运用抛动功能，增强超声对工件表面油污和污垢的清洗能力，缩短清洗时间；
●洗篮转动机构：重叠不可分拆的零件或形状复杂的零件，也可做到均匀完整的清洗；
●减压真空系统：能吸出盲孔、缝隙及叠加零件之间的空气，使超声波在减压的状态下产生惊人的清洗效果
●真空蒸汽清洗+真空干燥系统：利用蒸汽洗净做养护，**实现清洗效果；
●蒸汽清洗、干燥及清洗液加热的全过程在减压真空中进行，更有效地确保了安全性；
● 防爆配件及简洁加热系统，进一步提高安全度；
应用范围：
碎硅片、锅底料、单晶硅片、多晶硅片，太阳能硅片的研磨粒子、粉尘等污物的清洗。
技术参数:
超声波功率：10.2KW
超声波频率：40KHZ
换能器数量：204个
电源电压：220V
技术优势：
将被洗研磨硅片水平状放置在清洗槽底部上方栅栏状的石英棒框架上，在确保清洗槽内具有去离子水高度并不断流动的条件下，利用设在清洗槽底部的超声波振子进行清洗，超声波频率为40KHz，每5分钟将研磨硅片翻一个面，连续超洗至被超洗的研磨硅片表面没有黑色污染物冒出止。